国家标准计划《碳化硅多晶》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 洛阳中硅高科技有限公司 、山东天岳先进科技股份有限公司 、山西烁科晶体有限公司 、广东天域半导体股份有限公司 。
20260508-T-469 正在起草
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