行业标准《碳化硅单晶抛光片规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、北京天科合达蓝光半导体有限公司 、工业和信息化部电子工业标准化研究院等 。
主要起草人 丁丽 、郑红军 、蔺娴等 。
备案号：66937-2019。
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