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国家标准《硅单晶抛光片》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 有研半导体材料有限公司上海合晶硅材料有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司浙江海纳半导体有限公司浙江省硅材料质量检验中心有色金属技术经济研究院天津市环欧半导体材料技术有限公司

主要起草人 孙燕卢立延徐新华张海英楼春兰杨素心潘金平张雪囡

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 12964-2018
发布日期
2018-09-17
实施日期
2019-06-01
全部代替标准
GB/T 12964-2003
标准类别
产品
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

代替以下标准

全部代替 GB/T 12964-2003

起草单位

起草人

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