国家标准《碳化硅单晶片平整度测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 北京天科合达蓝光半导体有限公司 、中国科学院物理研究所 。

主要起草人 陈小龙 、郑红军 、张玮 、郭钰 。