国家标准计划《半导体晶片切口尺寸测试方法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 山东有研半导体材料有限公司 、山西烁科晶体有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司 、中环领先半导体科技股份有限公司 、西安奕斯伟材料科技股份有限公司 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 、北京天科合达半导体股份有限公司 。
GB/T 26067-2010 (全部代替)
20260519-T-469 正在起草
| 77 冶金 |
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