国家标准《碳化硅单晶片微管密度测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、北京天科合达半导体股份有限公司 、山东天岳先进科技股份有限公司 、广东天域半导体股份有限公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、安徽长飞先进半导体股份有限公司 、浙江晶瑞电子材料有限公司 、南京盛鑫半导体材料有限公司 、湖州东尼半导体科技有限公司 、长飞光纤光缆股份有限公司 、浙江材孜科技有限公司 、连科半导体有限公司 、中电晶华（天津）半导体材料有限公司 、上海优睿谱半导体设备有限公司 、河南中宜创芯发展有限公司 、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 、宁波合盛新材料有限公司 、厦门中芯晶研半导体有限公司 。

主要起草人 姚康 、许蓉 、佘宗静 、何烜坤 、王英明 、张红岩 、齐菲 、丁雄杰 、李素青 、刘小平 、欧阳鹏根 、潘文宾 、晏阳 、王志勇 、王明华 、胡润光 、李明达 、张超越 、孙毅 、赵丽丽 、赵新田 、陈基生 。