国家标准计划《碳化硅晶片表面杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 广东天域半导体股份有限公司 、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟 、南京国盛电子有限公司 、北京大学东莞光电研究院 、山西烁科晶体有限公司 。