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国家标准《硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位南开大学、天津市半导体材料厂。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 17169-1997 废止

硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

基础信息

标准号: GB/T 17169-1997
发布日期: 1997-12-22
实施日期: 1998-08-01
废止日期: 2004-10-14
上次复审日期: 2004-10-14
上次复审结论: 废止

标准类别

方法

中国标准分类号

H24

国际标准分类号

29.045

29 电气工程

29.045 半导体材料

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准委

起草单位

天津市半导体材料厂

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