国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 扫描镜》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 西安知微传感技术有限公司 、西北工业大学 、中机生产力促进中心 、深圳市速腾聚创科技有限公司 、中国科学院微电子研究所 、北京晨晶电子有限公司 、中国兵器工业第二一四研究所 、工业和信息化部电子第五研究所 、芯联集成电路制造股份有限公司 、中科院上海微系统与信息技术研究所 、上海麦锴科技有限公司等 。