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微机电系统（MEMS）技术 厚金属膜多层布线电镀工艺技术规范

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology-Technical specification for electroplating process of thick metal film multi-layer electroplating process
国家标准化指导性技术文件登记项目 制定 指导性技术文件

国家标准化指导性技术文件登记项目《微机电系统（MEMS）技术 厚金属膜多层布线电镀工艺技术规范》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 清华大学 、中机生产力促进中心有限公司 、北京大学 、华中科技大学 、启元实验室 。

目录

项目进度

  1. 起草
  2. 征求意见
  3. 审查
  4. 批准
  5. 发布
当前登记项目

20264639-Z-469 正在起草

微机电系统（MEMS）技术 厚金属膜多层布线电镀工艺技术规范

基础信息

登记号
20264639-Z-469
制修订
制定
项目周期
10个月
登记日期
2026-09-02
标准类别
方法
国际标准分类号
31.080.99
31 电子学
31.080 半导体分立器件
31.080.99 其他半导体分立器件
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

清华大学
北京大学
启元实验室
中机生产力促进中心有限公司
华中科技大学

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