《微机电系统（MEMS）技术 碳纳米管网络状薄膜液栅场效应晶体管制备工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。

在微机电系统（MEMS）领域，全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）已构建了较为完善的标准体系。

GB/T261112010《微机电系统（MEMS）技术术语》规定了MEMS领域的基础术语。

GB/T328142016《硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范》等标准规范了主流硅基MEMS制造工艺。

近期发布的GB/T445312024《微机电系统（MEMS）技术基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范》则体现了MEMS技术向特定应用产品规范延伸的趋势。

然而，上述标准主要集中于硅基体加工、通用微结构制造及成熟传感器产品规范，对于采用碳纳米管等新型纳米材料作为敏感单元的前沿MEMS传感器件，其特异性的材料处理与工艺集成技术规范尚属空白。