国家标准计划《氮化铝单晶复合衬底》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 松山湖材料实验室 、北京大学东莞光电研究院 、北京大学 、广东中图半导体科技股份有限公司 。
20250093-T-469 正在起草
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