国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 湖北美的电冰箱有限公司 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-42:2022。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第42部分：压电式微机电悬臂梁机电转换特性的测试方法。