国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 局域表面等离子体共振传感微流控芯片技术要求》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中央民族大学 、北京工业大学 、中国科学院半导体研究所 、山东大学 、中机生产力促进中心有限公司等 。