国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 MEMS驻极体式振动能量收集器性能测试方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 苏州大学 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-28:2017 。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第28部分：MEMS驻极体式振动能量收集器性能测试方法。