国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 MEMS驻极体式振动能量收集器性能测试方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 苏州大学 、中机生产力促进中心有限公司 、西北工业大学 、中国科学院北京纳米能源与系统研究所 、中北大学 、西安交通大学 、东南大学 、清华大学 、重庆大学 、重庆理工大学 、宁波中车时代传感技术有限公司 、国网江苏省电力有限公司电力科学研究院 、北京大学南昌创新研究院 、中用科技有限公司 。

主要起草人 刘会聪 、李根梓 、陶凯 、张弛 、何剑 、方续东 、石琼锋 、叶雄英 、文震 、牟笑静 、王发扬 、侯晓伟 、路永玲 、陈得民 、胡增 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-28:2017 。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第28部分：MEMS驻极体式振动能量收集器性能测试方法。