国家标准《半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法》 由TC599（全国集成电路标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位 河北美泰电子科技有限公司 、中国电科产业基础研究院 。

主要起草人 梁彦青 、罗蓉 、姚世婷 、周明琴 、刘聪聪 、杨拥军 、吝海锋 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-2:2006。

采标中文名称:半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料的拉伸试验方法。