# | 计划号 | 项目名称 | 制修订 | 计划下达日期 | 项目状态 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 20231107-T-469 | 硅片氧沉淀特性的测试 间隙氧含量减少法 | 修订 | 2023-12-01 | 正在批准 |
| 2 | 20231113-T-469 | 半导体晶片直径测试方法 | 修订 | 2023-12-01 | 正在批准 |
# | 标准号 | 标准中文名称 | 发布日期 | 实施日期 | 标准状态 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | GB/T 24578-2024 | 半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法 | 2024-07-24 | 2025-02-01 | 现行 |
| 2 | GB/T 14264-2024 | 半导体材料术语 | 2024-04-25 | 2024-11-01 | 现行 |
| 3 | GB/T 43976-2024 | 电子气体 四氟甲烷 | 2024-04-25 | 2024-11-01 | 现行 |
| 4 | GB/T 43977-2024 | 电子气体 八氟环丁烷 | 2024-04-25 | 2024-11-01 | 现行 |
| 5 | GB/T 1558-2023 | 硅中代位碳含量的红外吸收测试方法 | 2023-12-28 | 2024-07-01 | 现行 |
| 6 | GB/T 43315-2023 | 硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法 | 2023-11-27 | 2024-06-01 | 现行 |
| 7 | GB/T 1553-2023 | 硅和锗体内少数载流子寿命的测定 光电导衰减法 | 2023-08-06 | 2024-03-01 | 现行 |
| 8 | GB/T 1555-2023 | 半导体单晶晶向测定方法 | 2023-08-06 | 2024-03-01 | 现行 |
| 9 | GB/T 42676-2023 | 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法 | 2023-08-06 | 2024-03-01 | 现行 |
| 10 | GB/T 6616-2023 | 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法 | 2023-08-06 | 2024-03-01 | 现行 |
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