国家标准《半导体单晶晶向测定方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、有研国晶辉新材料有限公司 、浙江海纳半导体股份有限公司 、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 、云南驰宏国际锗业有限公司 、北京通美晶体技术股份有限公司 、浙江旭盛电子有限公司 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、丹东新东方晶体仪器有限公司 、国标（北京）检验认证有限公司 、新美光（苏州）半导体科技有限公司 。

主要起草人 许蓉 、刘立娜 、李素青 、庞越 、马春喜 、张海英 、林泉 、尚鹏 、麻皓月 、潘金平 、廖吉伟 、崔丁方 、任殿胜 、王元立 、陈跃骅 、孙聂枫 、赵松彬 、王书明 、李晓岚 、史艳磊 、赵丽丽 、夏秋良 。