国家标准《硅中代位碳含量的红外吸收测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、青海芯测科技有限公司 、天津中环领先材料技术有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、山东有研半导体材料有限公司 、浙江海纳半导体股份有限公司 、布鲁克（北京）科技有限公司 、中国计量科学研究院 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、开化县检验检测研究院 、四川永祥新能源有限公司 、亚洲硅业（青海）股份有限公司 、新疆新特新能材料检测中心有限公司 、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司 、中电晶华（天津）半导体材料有限公司 、浙江众晶电子有限公司 、义乌力迈新材料有限公司 、湖南三安半导体有限责任公司 。

主要起草人 李静 、何烜坤 、刘立娜 、李素青 、索开南 、马春喜 、薛心禄 、张雪囡 、张海英 、孙韫哲 、王彦君 、沈益军 、赵跃 、王军锋 、李兰兰 、邹剑秋 、徐顺波 、李寿琴 、张宝顺 、刘国霞 、徐岩 、李明达 、陆勇 、皮坤林 、杜伟华 。