国家标准《电子气体 四氟甲烷》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 浙江省化工研究院有限公司 、昊华气体有限公司 、杭氧集团股份有限公司 、中船（邯郸）派瑞特种气体有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、天津绿菱气体有限公司 、浙江巨化技术中心有限公司 、中化蓝天氟材料有限公司 、江西华特电子化学品有限公司 、福建久策气体股份有限公司 、江苏雅克科技股份有限公司 、上海伟创标准气体分析技术有限公司 、金宏气体股份有限公司 、浙江海纳半导体股份有限公司 、杭州德成科技服务有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心） 、浙江解氏新材料股份有限公司 、宿州伊维特新材料有限公司 、浙江省标准化研究院 、中国计量大学 、上海申南特种气体有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、上海凡伟仪器设备有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、浙江东开半导体科技有限公司 、和立气体（上海）有限公司 、昆明广瑞达特种气体有限责任公司 、西南化工研究设计院有限公司 、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司 、西南化工研究设计院有限公司双流分公司 。

主要起草人 史婉君 、王娟 、张琦炎 、罗霞 、胡迎 、付梦月 、李企真 、朱晓平 、王占卫 、袁瑞玲 、傅铸红 、陈艳珊 、马建修 、陈程 、褚人财 、李霞 、何西 、禹金龙 、曹素英 、何经余 、沈琦 、郭华轩 、王新喜 、孙猛 、沈益军 、潘金平 、洪倩 、石林 、吕博文 、万娟秀 、朱明 、谈益强 、刘亮 、张朋越 、陈洁 、吴靓 、方华 、郑新蕊 、何波 、黄小强 、黄辉 、刘扬涛 、宫兵 、易达文 、李阳 、梁永强 、梁成科 、高静 、赵帅德 、马昌宁 、周鹏云 、刘定川 、彭诚 。