国家标准《碳化硅单晶抛光片》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京天科合达半导体股份有限公司 、中国科学院物理研究所 、南京国盛电子有限公司 、安徽长飞先进半导体有限公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 。

主要起草人 陈小龙 、彭同华 、佘宗静 、王波 、刘春俊 、李素青 、郭钰 、娄艳芳 、郑红军 、杨建 、骆红 、钮应喜 。