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国家标准《碳化硅单晶抛光片》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 北京天科合达半导体股份有限公司中国科学院物理研究所南京国盛电子有限公司安徽长飞先进半导体有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司

主要起草人 陈小龙彭同华佘宗静王波刘春俊李素青郭钰娄艳芳郑红军杨建骆红钮应喜

目录

标准状态

代替了以下标准

GB/T 30656-2014 (全部代替)

碳化硅单晶抛光片
当前标准

GB/T 30656-2023 现行

碳化硅单晶抛光片

基础信息

标准号
GB/T 30656-2023
发布日期
2023-03-17
实施日期
2023-10-01
全部代替标准
GB/T 30656-2014
标准类别
产品
中国标准分类号
H83
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

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