国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期：发布即实施。

主要起草单位 北京自动化控制设备研究所 、安徽奥飞声学科技有限公司 、中机生产力促进中心有限公司 、苏州大学 、华润上华科技有限公司 、太原航空仪表有限公司 、中国航天科工飞航技术研究院 、山东中康国创先进印染技术研究院有限公司 、北京遥测技术研究所 、西安交通大学 、北京晨晶电子有限公司 、上海新微技术研发中心有限公司 、天津新智感知科技有限公司 、上海芯物科技有限公司 、天津大学 、北京大学 、河北初光汽车部件有限公司 。

主要起草人 王永胜 、张红宇 、安志武 、李根梓 、张菁华 、孙立宁 、苏翼 、张新伟 、李拉兔 、刘会聪 、邢文忠 、徐堃 、毛志平 、路文一 、王志广 、汤一 、要彦清 、娄亮 、郑冬琛 、陈得民 、姚鹏 、胡晓东 、卢弈鹏 、袁长作 、仲胜利 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-30:2017。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第30部分：MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法。