国家标准计划 - 全国标准信息公共服务平台

国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心有限公司等。

目录

项目进度

当前标准计划

20242021-T-469 正在起草

微机电系统（MEMS）技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法

基础信息

计划号: 20242021-T-469
制修订: 制定
项目周期: 18个月
下达日期: 2024-06-28

标准类别

基础

国际标准分类号

31.200

31 电子学

31.200 集成电路、微电子学

归口单位

全国微机电技术标准化技术委员会

副归口单位

全国集成电路标准化技术委员会

执行单位

全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

起草单位

中机生产力促进中心有限公司等

相近标准(计划)

20221874-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法

20221873-T-469 微机电系统（MEMS）技术传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

20221872-T-469 微机电系统（MEMS）技术层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法

20242020-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS磁传感器技术规范

20221867-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法

20221870-T-469 微机电系统（MEMS）技术射频MEMS环行器和隔离器

20221871-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法

GB/T 42895-2023 微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

GB/T 42896-2023 微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

20242019-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片

版权所有侵权必究
主管：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会
主办：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心
技术支持：北京中标赛宇科技有限公司
支持电话：010-82261036
备案号：京ICP备18022388号-1