国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 偏转镜重复定位精度测量方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 上海麦锴科技有限公司 、中机生产力促进中心有限公司 、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 、哈尔滨工业大学 、北京华创晨晶电子有限公司 、西安知微传感技术有限公司 、深圳市速腾聚创科技有限公司 、中国电子科技集团公司第三十四研究所 、南昌大学 、华东光电集成器件研究所 、北京智芯微电子科技有限公司 、中国科学院国家空间科学中心 、中国航天时代电子有限公司 、北京大学南昌创新研究院 、工业和信息化部电子第五研究所 、清华大学 、哈尔滨芯明天科技有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、北京正时精控科技有限公司 、上海芯炽科技集团有限公司 、国家智能传感器创新中心 、上海共进微电子技术有限责任公司 、中国电力科学研究院有限公司 、中国科学院微电子研究所 。

主要起草人 王栎皓 、李根梓 、武震宇 、于思源 、要彦清 、宋秀敏 、杨旸 、何晓垒 、王明坤 、夏长锋 、钱磊 、方东明 、马英起 、薄凡 、李博 、陈得民 、董显山 、赵晓光 、陈峰 、夏长奉 、汤一 、郑明春 、董业民 、姚鹏 、张文燕 、程宇心 、高超 、杨丹丹 。