国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 偏转镜重复定位精度测量方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 、中机生产力促进中心有限公司 、北京正时精控科技有限公司 。

主要起草人 王家畴 、李根梓 、郑明春 。