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国家标准计划《微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法》由 TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后3个月正式实施。

主要起草单位 北京大学中机生产力促进中心有限公司中国电子技术标准化研究院北京燕东微电子科技有限公司无锡韦感半导体有限公司深圳市美思先端电子有限公司南京飞恩微电子有限公司广州奥松电子股份有限公司上海临港新片区跨境数据科技有限公司

主要起草人 张大成杨芳李根梓顾枫刘鹏高程武于志恒王旭峰李凤阳华璇卿陈艺刘若冰张彦秀万蔡辛武斌曹万张宾张启心

目录

项目进度

当前标准计划

20204972-T-469 已发布

微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

基础信息

计划号
20204972-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2020-12-24
标准类别
方法
中国标准分类号
L59
国际标准分类号
31.200
31 电子学
31.200 集成电路、微电子学
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

张大成
杨芳
刘鹏
高程武
李凤阳
华璇卿
张彦秀
万蔡辛
张宾
张启心
李根梓
顾枫
于志恒
王旭峰
陈艺
刘若冰
武斌
曹万

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