国家标准《微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心有限公司 、中国电子技术标准化研究院 、北京燕东微电子科技有限公司 、厦门市智慧健康研究院有限公司 、宁波瑞成包装材料有限公司 、四川富生电器有限责任公司 、深圳市美思先端电子有限公司 、无锡韦感半导体有限公司 、广州奥松电子股份有限公司 、江门市润宇传感器科技有限公司 。

主要起草人 张大成 、杨芳 、李根梓 、顾枫 、刘鹏 、李凤阳 、王旭峰 、高程武 、陈艺 、于志恒 、华璇卿 、刘若冰 、张彦秀 、王清娜 、邵峥 、李强 、宏宇 、赵成龙 、张宾 、李海全 。