国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 溶液浓度测定的MEMS流体器件光学吸收试验方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京智芯微电子科技有限公司 、电子科技大学 、中机生产力促进中心有限公司 、江苏甫瑞微纳传感科技有限公司 、苏州含光微纳科技有限公司 、苏州捷研芯电子科技有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-48：2024。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第48部分：溶液浓度测定的MEMS流体器件光学吸收试验方法。