国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 MEMS流体器件光学吸收法测定溶液浓度的试验方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 北京智芯微电子科技有限公司 、电子科技大学 、中机生产力促进中心有限公司 、苏州含光微纳科技有限公司 、苏州捷研芯电子科技有限公司 、中用科技有限公司 、中央民族大学 、沈阳国仪检测技术有限公司 、中国电力科学研究院有限公司 、国网山东省电力公司 、四川大学 、南方电网数字电网集团有限公司 、北京大学南昌创新研究院 、宁波中车时代传感技术有限公司 、成都航天凯特机电科技有限公司 、无锡吴越物芯科技有限公司 、国网新疆电力有限公司昌吉供电公司 。

主要起草人 方东明 、张晓升 、李根梓 、吴烨娴 、杜君 、王建国 、江大白 、耿照新 、李洪伟 、王冠鹰 、吴观斌 、林媛 、谭尧 、王竹卿 、李晋伟 、陈得民 、侯晓伟 、张云辉 、董接莲 、罗文华 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-48:2024。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第48部分：MEMS流体器件光学吸收法测定溶液浓度的试验方法。