国家标准化指导性技术文件登记项目《微机电系统（MEMS）技术 扫描镜光学可靠性试验方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布即实施。

主要起草单位 深圳市速腾聚创科技有限公司 、中机研标准技术研究院（北京）有限公司 、西安知微传感技术有限公司 、上海麦锴科技有限公司 、工业和信息化部电子第五研究所 、北京华创晨晶电子有限公司 、北京智芯微电子科技有限公司 、中国科学院微电子研究所 、清华大学 、南昌大学 、哈尔滨芯明天科技有限公司 、中国科学院国家空间科学中心 、无锡华润上华科技有限公司 、北京智芯传感科技有限公司 、北京大学南昌创新研究院 、中国航天时代电子有限公司 、安徽北方微电子研究院集团有限公司 、芯联集成电路制造股份有限公司 。

主要起草人 杨旸 、李根梓 、陈曦玥 、李帆雅 、宋秀敏 、王栎皓 、黄鑫龙 、汤一 、方东明 、周维虎 、要彦清 、赵晓光 、董显山 、夏长锋 、高超 、陈峰 、马英起 、夏长奉 、陈得民 、薄凡 、钱磊 、罗传鹏 。