国家标准计划《半导体器件 微电子机械器件 第3部分：拉伸试验用薄膜标准试验片》由 TC599（全国集成电路标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。 拟实施日期：发布即实施。

主要起草单位 河北美泰电子科技有限公司 、中国电科产业基础研究院 。

主要起草人 梁彦青 、罗蓉 、姚世婷 、周明琴 、刘聪聪 、杨拥军 、吝海锋 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC62047-3:2006。

采标中文名称:半导体器件 微电子机械器件 第3部分：拉伸试验用薄膜标准试验片。