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国家标准计划《微机电系统(MEMS)技术 术语》由 TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后3个月正式实施。

主要起草单位 中机生产力促进中心有限公司西安知微传感技术有限公司苏州大学北京大学无锡华润上华科技有限公司中国科学院空天信息创新研究院北京航空航天大学上海交通大学天津大学北京航天控制仪器研究所西安现代控制技术研究所中国科学院上海微系统与信息技术研究所北京晨晶电子有限公司天津新智感知科技有限公司中国电子科技集团公司第十三研究所中国科学院微电子研究所广州广电计量检测股份有限公司南京高华科技股份有限公司杭州左蓝微电子技术有限公司广州奥松电子股份有限公司华东光电集成器件研究所江苏普诺威电子股份有限公司明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司

主要起草人 顾枫宋秀敏李根梓孙立宁张大成夏长奉夏善红董全林张卫平胡晓东刘会聪邢朝洋刘奎熊斌张永斌张威崔波陈得民王玮冰明志茂李晓波SHUMINZHANG张宾张胜兵杨飞高峰

目录

项目进度

基础信息

计划号
20200872-T-469
制修订
修订
项目周期
30个月
下达日期
2020-03-06
全部代替标准
GB/T 26111-2010
标准类别
基础
中国标准分类号
L59
国际标准分类号
31.080.99
31 电子学
31.080 半导体分立器件
31.080.99 其他半导体分立器件
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

采标情况

本标准修改采用IEC国际标准:IEC 62047-1:2016。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第1部分:术语和定义。

投票情况

投票日期
2019-01-03~2019-01-21
通过率
78.43%
投票日期
2022-06-28~2022-06-30
通过率
98.48%

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