国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京晨晶电子有限公司 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-11:2013。

采标中文名称:半导体器件微机电系统第11部分：微机电系统中无需支撑物材料线性热膨胀系数试验方法。