国家标准计划《硅退火片规范》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 万向硅峰电子股份有限公司 、有研半导体材料股份公司 、宁波立立电子股份有限公司和杭州海纳半导体有限公司 。

主要起草人 楼春兰 、孙燕 、朱兴萍 、宫龙飞 、王飞尧 、黄笑容 、方强 。