行业标准《硅抛光回收片》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 浙江金瑞泓科技股份有限公司 、有研半导体材料股份有限公司等 。
主要起草人 何良恩 、刘丹等 。
备案号:47643-2014。
备案公告: 2014年第12号 。