国家标准《硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子科技集团第十三研究所 、中机生产力促进中心 、北京大学 、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 。

主要起草人 崔波 、罗蓉 、刘伟 、张大成 、熊斌 、陈海蓉 。