国家标准计划《金刚石单晶抛光片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 安徽光智科技有限公司 、哈尔滨工业大学 、浙江先导微电子科技有限公司 、广东先导稀材股份有限公司 、安徽昱升光电科技有限公司 、郑州航空工业管理学院 、苏州碳真芯材科技有限公司 、德州学院 。