国家标准计划《金刚石单晶抛光片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 安徽光智科技有限公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、中国石油集团工程材料研究院有限公司 、浙江先导微电子科技有限公司 、河南碳真芯材科技有限公司 、哈尔滨工业大学 、中国科学院半导体研究所 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、德州学院 、北京大学东莞光电研究院 、云南鑫耀半导体材料有限公司 、北京特思迪半导体设备有限公司 、河北蓝思泰克光电科技有限公司 、河南鸿泰钻石科技有限公司 、河南平煤神马超硬材料股份有限公司 、河南路纳尔新材料有限公司 、湖北碳六科技有限公司 、河南省惠丰金刚石有限公司 、昊远精测光电科技（上海）有限公司 、深圳市常兴技术股份有限公司 、广东先导稀材股份有限公司 。

主要起草人 刘留 、尹士平 、耿方娟 、欧琳芳 、贺东江 、王少龙 、李素青 、于金凤 、赵继文 、朱嘉琦 、金鹏 、王阳 、霍晓迪 、王琦 、惠峰 、寇明虎 、王希杰 、冯参军 、彭献伟 、高礼明 、吕继磊 、王来福 、孙方远 、刘永 、朱赞芳 、付安庆 、王志强 。