国家标准计划《200mm硅外延片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、有色金属技术经济研究院 。

主要起草人 马林宝 、骆红 、杨帆 、金龙 、杨素心 。