《微机电系统(MEMS)技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准委。
MEMS电容式硅麦克风体积小、信噪比高、功耗小、成本低,采用与集成电路工艺兼容的硅微加工技术制成,适合集成和大规模量产,处理电路简单,可靠性高,抗干扰能力强,因此在消费类、工业、医疗、智慧城市等领域有广泛的应用前景,目前应用于可穿戴产品(智能手机、智能手表、耳机等)、智能音箱、电脑、自动驾驶等。
近年来,MEMS 麦克风是 MEMS 市场中增速最快的细分市场之一。
受益于下游应用领域的快速发展,MEMS 声学传感器成为了 MEMS 产品中市场份额较大、增速较快的细分市场之一。