国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京遥测技术研究所 、中机生产力促进中心 。

主要起草人 李庆丰 、金小锋 、李海斌 、朱悦 、程红兵 。