国家标准计划《硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 洛阳中硅高科技有限公司 、南京中锗科技股份有限公司 、上海新昇半导体科技有限公司 、唐山三孚电子材料有限公司 、新疆大全新能源股份有限公司 、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司 。