地方标准《多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法》由云南省质量技术监督局归口上报，主管部门为云南省质量技术监督局。

主要起草单位 昆明冶研新材料股份有限公司 。

主要起草人 赵建为 、张云晖 、于艳敏 、金波 、亢若谷 、马启坤 、杨晓静 、田琦 、李晓华 、韩小月 。

备案号：38312-2013。

备案公告： 2013年第9号 。

本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的测定。