行业标准《颗粒硅总金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》，主管部门为工业和信息化部。
备案号：100714-2025。
备案公告： 2025年第7号 。
适用于流化床法颗粒硅总金属，如铁、铬、镍、铜、钠、镁、铝、钾、钙、锌、钛、钼、钨、钴含量的测定，各元素检测范围为0.05ng/g～50ng/g。
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