行业标准《六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》，主管部门为工业和信息化部。
备案号：93570-2024。
备案公告： 2024年第3号 。
本文件适用于六氯乙硅烷中杂质元素含量的测定，各元素测定范围为0.01 ng/g～50 ng/g。
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