行业标准《高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 峨嵋半导体材料研究所 、南京中锗科技股份有限公司等 。
主要起草人 刘爱华 、孙平等 。
备案号：47634-2014。
备案公告： 2014年第12号 。
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