行业标准《硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中锗科技有限公司 、江苏中能硅业科技发展有限公司 、昆明冶研新材料股份有限公司 。

主要起草人 刘新军 、刘英杰 、郑华荣等 。

备案号：50408-2015。

备案公告： 2015年第7号 。

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。