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行业标准《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部

主要起草单位 中锗科技有限公司昆明冶研新材料股份有限公司江苏中能硅业科技发展有限公司等

主要起草人 刘英杰郑华荣柯尊斌等

目录

标准状态

基础信息

标准号
YS/T 1059-2015
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040.30
77 冶金
77.040 金属材料试验
77.040.30 金属材料化学分析
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
主管部门
工业和信息化部
行业分类
制造业

备案信息

备案号:50407-2015。

备案公告: 2015年第7号

适用范围

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定,测定范围为0.00005%~0.005%。

起草单位

起草人

刘英杰
郑华荣
柯尊斌

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