行业标准《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中锗科技有限公司 、昆明冶研新材料股份有限公司 、江苏中能硅业科技发展有限公司等 。

主要起草人 刘英杰 、郑华荣 、柯尊斌等 。

备案号：50407-2015。

备案公告： 2015年第7号 。

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。