行业标准《硅多晶生产用石墨制品表面杂质含量的测定 电感耦合等离子体光谱法》,主管部门为工业和信息化部。
备案号:100763-2025。
备案公告: 2025年第7号 。
适用于硅多晶生产用石墨制品中表面杂质元素含量的测定。