行业标准《流化床法颗粒硅表面金属含量的测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法》，主管部门为工业和信息化部。
备案号：106882-2026。
本文件描述了电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS ）测定流化床法颗粒硅表面金属杂质元素含量的方法。本文件适用于流化床法颗粒硅表面金属杂质元素如铁、铬、镍、铜、钠、镁、铝、钾、钙、锌、钛、钼、钨、钴、锰等含量的测定，各元素测定范围为 0.05ng/g ～ 1000ng/g
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