国家标准计划《硅外延用三氯氢硅》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中锗科技有限公司 、南京国盛电子有限公司 、南京中锗科技股份有限公司 。

主要起草人 赵立奎 、张莉萍 、谭卫东 、金龙 、刘新军 、郑华荣 。