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行业标准《电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法》，主管部门为工业和信息化部。

目录

标准状态

基础信息

标准号: YS/T 1740-2025
发布日期: 2025-04-10
实施日期: 2025-11-01

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.04

77 冶金

主管部门

工业和信息化部

行业分类

制造业

备案信息

备案号：100691-2025。

备案公告： 2025年第7号。

适用范围

适用于硅多晶生产和硅外延用电子级三氯氢硅的质量评价。

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