地方标准《多晶硅用三氯氢硅》由云南省质量技术监督局归口上报，主管部门为云南省质量技术监督局。

主要起草单位 昆明冶研新材料股份有限公司 。

主要起草人 金波 、亢若谷 、马启坤 、赵建为 、赵祖乔 、罗平 、张云晖 、李仕勇 、宋东明 、韩小月 。

备案号：38310-2013。

备案公告： 2013年第9号 。

本标准规定了多晶硅用三氯氢硅的要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存等内容。本标准适用于改良西门子法生产的多晶硅用三氯氢硅。